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高温气相法生长AlN晶体中保温材料的研究

发表于2011-03-02    590人浏览    1人跟帖    复制链接  只看楼主

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王雪123

 版主liutao830115 点评

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内容简介

保温材料是影响高温气相法生长AlN晶体的主要因素之一。石墨由于其优良的耐高温性和低的热导率,成为目前制备AlN最常用的保温材料,但是存在易引入C杂质、减少坩埚寿命等缺点。采用不添加任何添加剂AlN粉体制作了高温气相法生长AlN晶体的保温材料,并与石墨保温材料进行对比研究发现,AlN保温材料具有耐高温、对W坩埚材料没有损伤、使用寿命长、不易在晶体中引入杂质等优点,是一种优良的高温保温材料。但是,与石墨保温材料相比,AlN也存在热导率相对较高、在高温过程中AlN粉体会出现少量升华污染炉腔等缺点,在使用中要采取一定的对策。

高温气相法生长AlN晶体中保温材料的研究

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 当前离线   发表于2011-03-02  | 只看该作者      

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